补上中国芯片“关键环” 洛阳这家企业经历20余年创新跋涉【视频】

立春刚过，在位于孟津的昊华气体有限公司中控室，建成投产的昊华特种含氟电子气体项目，通过了最后的验收。一辆辆满载三氟化氮等电子气体的货车，批量发往国内外半导体、面板龙头企业，标志着项目进入“万吨级”规模化生产新阶段。

　　从“百吨级”迈向“万吨级”，国产化率跃升

　　扩试成功了，但要想让99.99%的电子气体立足于市场不败之地，还要经过规模化生产的重重考验。

　　2014年，黎明院和韩国一家企业合资成立洛阳黎明大成有限公司，先后上马三氟化氮一期1000吨/年项目、二期1000吨/年项目，建成两条生产线。

　　2020年，为加快电子化学品产业化步伐，昊华化工科技集团股份有限公司整合旗下3家科研院所电子化学品业务成立昊华气体，黎明院含氟电子气体的业务和人员也随之划归昊华气体。

　　其后，昊华气体收购了韩国公司所持有股权，产业的自主可控水平进一步提升，同时开启了万吨级特种含氟电子气体基地建设。

　　“三氟化氮的洁净自动充装系统，就是在这一次规模化放大过程中攻克的技术之一。”昊华气体副总经理王娟说，该系统工控系统、管道设计、设备选型、现场施工全部实现国产转化，彻底摆脱全进口系统的技术制约，单项节约降低项目投资成本3000余万元。