补上中国芯片“关键环” 洛阳这家企业经历20余年创新跋涉【视频】

立春刚过，在位于孟津的昊华气体有限公司中控室，建成投产的昊华特种含氟电子气体项目，通过了最后的验收。一辆辆满载三氟化氮等电子气体的货车，批量发往国内外半导体、面板龙头企业，标志着项目进入“万吨级”规模化生产新阶段。

　　“气体纯度，合格！”

　　立春刚过，在位于孟津的昊华气体有限公司中控室，建成投产的昊华特种含氟电子气体项目，通过了最后的验收。一辆辆满载三氟化氮等电子气体的货车，批量发往国内外半导体、面板龙头企业，标志着项目进入“万吨级”规模化生产新阶段。

　　三氟化氮等电子气体，是集成电路、显示面板、光伏等产品的关键原材料。尤其在集成电路领域，这类产品常被用在芯片等离子蚀刻和清洗材料等环节，被喻为芯片产业的“血液”，其生产曾常年被美国、日本等国家垄断。苛刻的使用条件，使其需要提纯至99.99%以上，且实现低成本、大规模生产，才有市场竞争力。

　　昊华气体电子气体的产业化，始于黎明化工研究设计院有限公司的研发积累。鲜有人知的是，向着电子气体国产化的目标，黎明院和昊华气体的技术人员经历了长达20余年的创新跋涉。这背后，经历了怎样的“峰回路转”“柳暗花明”？