立春刚过，在位于孟津的昊华气体有限公司中控室，建成投产的昊华特种含氟电子气体项目，通过了最后的验收。一辆辆满载三氟化氮等电子气体的货车，批量发往国内外半导体、面板龙头企业，标志着项目进入“万吨级”规模化生产新阶段。
“补链”成功，向着“世界一流”奔跑
时下，伴随着特种含氟电子气体项目如期完工验收，昊华气体新增三氟化氮产能3000吨、四氟化碳1000吨、六氟化钨600吨，不仅产能达到“万吨级”，品种丰富度大大拓展，成本也降到低于同行业的水平。
如今，企业产品已批量供货中芯国际、长江存储、京东方、华星光电等芯片、电子屏幕头部企业。去年，企业实现销售收入7.6亿元，同比增长16%。这意味着，经历了引进技术、消化技术、开发新技术、规模化量产等一波三折后，昊华气体电子气体工艺日趋成熟，成功补上含氟电子气体国产化链条空白，迎来了“胜利的彩虹”。
“含氟电子气体项目的建设是在黎明院技术积累基础上，昊华气体通过工程化研究、产业规模放大结出的硕果，是一代代‘黎明人’‘昊华人’研发、技术、产业化接续奋斗的结晶。”王娟感慨万分地说。
昊华气体总经理姚庆伦介绍，“十四五”期间，昊华气体计划向湿电子化学品、抛光材料等其它电子化学品业务扩展，力争发展成为世界一流的电子化学品综合服务商。
走进昊华气体大厅，屏风墙上“科学至上”四个毛笔字苍劲有力，昭示着黎明院、昊华气体研究人员求真务实的探索精神。
正是靠着这股气和劲，他们争得了多品类的高纯含氟电子气，也为“中国芯”“中国屏”争了气！（洛报融媒·洛阳网记者 张锐鑫 通讯员 郑占波 陈丽君 文/图/视频）
|
