立春刚过,在位于孟津的昊华气体有限公司中控室,建成投产的昊华特种含氟电子气体项目,通过了最后的验收。一辆辆满载三氟化氮等电子气体的货车,批量发往国内外半导体、面板龙头企业,标志着项目进入“万吨级”规模化生产新阶段。
引进国外技术,纯度却相差“十万八千里”
最开始,三氟化氮的研发,是从黎明院和美国一家企业合作开始的。
“早在1998年,面对国内三氟化氮的产业空白,我们是两手抓,一方面自己探索,一方面接触国外的技术合作方。”时任黎明院三氟化氮研发组长的昊华气体副总经理汪建春回忆道。
2002年初,引进美国公司技术和关键设备的20吨/年的三氟化氮装置建成。然而让人诧异的是,工艺技术路线畅通,但试车实验产品纯度却只有92%,距离当时99.9%以上的目标相差“十万八千里”。
“液化器肯定没有问题!”面对中方专家的质疑,美国专家却信心十足,甚至有些傲慢。
无奈,研发人员费尽周折,满足外方要求的所有实验条件。然而,纯度仍无法达标。
“在2004年最冷的时候,我们的员工就住在哈尔滨监督设备加工,一住就是个把月。一出门,脸都冻麻了。”汪建春对当时的艰难记忆犹新。
面对残局,美国公司技术人员哑口无言,只得放弃后续转让费用,并在2004年底中止了转让协议。
关键核心技术要不来、买不来、讨不来,唯有自主创新。项目虽然失败了,却带来全新的认知,成为一种略带苦涩的收获。
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