立春刚过,在位于孟津的昊华气体有限公司中控室,建成投产的昊华特种含氟电子气体项目,通过了最后的验收。一辆辆满载三氟化氮等电子气体的货车,批量发往国内外半导体、面板龙头企业,标志着项目进入“万吨级”规模化生产新阶段。
“推倒重来也要搞”,“累了就和衣而睡”
“折腾了四五年,投入了1000多万,一分钱效益也没见。”“还不如停掉干别的项目!”2004年,黎明院内部犹豫、质疑声渐起。
信心动摇之时,黎明院召开专题会议“一锤定音”:“推倒重来也要搞”!
吃了“定心丸”,研发人员们重新聚集在一起,经历一次次讨论、分析、推演,逐渐形成共识:产品纯度问题的根本原因不是后处理提纯,而在于直接氟化法使用碳板、氟气等,难免产生大量难以分离的杂质。
换句话说,技术路线从一开始就错了。
真是悔意和希望并存!研发人员放弃研发了多年的直接氟化法,几乎从零开始,转身向电解法发起“冲锋”。
查资料、做实验、建分析方法……面对新技术、新工艺,“平地起高楼”异常艰难。
“连续一周7天,每天近20个小时待在实验室。累了就和衣而睡,饿了在食堂煮方便面。”回忆起当时研发情景,昊华气体主任工程师魏磊记忆尤深。
事情终于在2008年迎来关键转机。这一年,黎明院建成30吨/年电解扩试装置,批量生产产品纯度达到电子级的99.99%,实验终于取得了成功!
|