在位于黄河之畔的孟津区白鹤镇，刚刚建成三个多月、投产即满产的洛阳中硅高科技有限公司电子信息材料转型升级项目便坐落于此。
质检现场
在位于黄河之畔的孟津区白鹤镇，刚刚建成三个多月、投产即满产的洛阳中硅高科技有限公司电子信息材料转型升级项目便坐落于此。
春节前夕，走进工业界“最干净”的百级洁净车间，穿衣戴帽、“全副武装”的质检员姜士兵，一次次取出白色量杯中的银灰色电子级多晶硅，小心翼翼地放入一台质谱分析仪中。凝视着屏幕上跳跃的数字，姜士兵连呼吸都放慢了，不放过任何一个瑕疵。
“铁、铜、锌等24种杂质含量比例，要控制在十亿分之一以下，就像在全体中国人里找一个人。”姜士兵话语从容。对肩负为芯片工业原材料“把最后一道关”的他而言，这些看似不可能的高难度工艺，已经成为稀松平常的工作日常。
从2017年立项研发电子信息材料，到眼下14种产品实现进口替代，如今的中硅高科，正站在芯片产业国产化替代的风口迎“风”而起，燃起中国集成电路科技自立自强的“芯”希望。
中硅高科研发中心主任刘见华介绍，环视我国芯片制造业，被行业视为“卡脖子”环节的，一个是以先进光刻机为代表的核心设备，另一个就是中硅高科眼下生产的、国产化率不足10%的超高纯硅基电子材料。
以电子级多晶硅和三氯氢硅等为代表，超高纯硅基电子材料是芯片工业的“肉体”和“血液”，广泛应用在芯片切片、光刻、封装等环节。2017年以来，面对该产品高度依赖进口的“堵点”，中硅高科着力推动“电子级高纯多晶硅与硅基电子气体研发及产业化”课题，从基础研究、关键技术、核心装备、平台化技术等领域全方位突破，成功发明超高纯硅基电子材料制备关键技术及装备。
漫步项目厂区，沿着数十条纵横交错的管线，原料涌入高达62米的精馏塔，转化为三氯氢硅等10余种超高纯硅基电子材料。“我们创新性提出了流程化、平台化制备技术体系，实现了硅基电子材料制备集群式产出，这在国内是首创。”刘见华说，“这样的工艺，生产效率相较‘单一产品单一布局’的传统工艺大大提升。也正因此，产品受到中芯国际、台积电、英特尔等国内外芯片‘巨头’的青睐。”
眼下，该企业产品质量和品质媲美国际一流供应商，部分产品指标处于领先水平，其中三氯氢硅等关键材料市场占有率达到全球前三、国内第一！前不久，企业申报的“超高纯硅基电子材料制备关键技术及应用”项目，获得河南省科技进步奖一等奖。
“为了这一天，我们研发投入占比在9%以上，仅去年一年研发投入就接近1亿元。”刘见华说，“但红利也很可观，仅一期就能实现年产值超5亿元，未来随着二期推进，总产值有望突破10亿元。”
走出百级洁净车间，在行政大楼入口，“担国家责任、补行业短板”十个大字直击人心。
20年前，中硅高科曾诞生国内首条年产300吨多晶硅生产线，打破国外对我国光伏产业的技术封锁。
如今，企业正朝着“让‘中国芯’用上‘中国料’”的宏愿，赓续精神、续写传奇！（洛报融媒·洛阳网记者 张锐鑫 通讯员 李亚伟 文/图）
|
