围绕硅基材料产业发展，我市相关企业近年积极创新，在高纯硅及硅片、靶材、电子气体等领域表现突出，为国产半导体产业高质量发展贡献强劲“洛阳动力”。这是记者从近日在洛召开的2023年集成电路用硅基气体研讨会上了解到的。
中硅高科研究人员正在进行光通信及集成电路用高端产品研发 （资料图片）
围绕硅基材料产业发展，我市相关企业近年积极创新，在高纯硅及硅片、靶材、电子气体等领域表现突出，为国产半导体产业高质量发展贡献强劲“洛阳动力”。这是记者从近日在洛召开的2023年集成电路用硅基气体研讨会上了解到的。
此次会议正式发布《以创新赋能产业升级谱写硅基材料产业发展新篇章》全国行业报告，对当前全国硅基材料产业发展现状及格局进行了科学解读，并提及多家洛阳企业。
其中，中硅高科依托硅基材料制备技术国家工程研究中心，承担了国家级、省级重点项目26个，通过持续研发和产业化，形成了具有自主知识产权的先进硅基材料技术体系，开发了电子级多晶硅、高纯四氯化硅和电子级三氯氢硅等硅基电子产品。其产品在50余家公司实现批量应用，国内市场覆盖率超80%。
丰联科光电聚焦半导体显示、半导体集成电路、光伏、新能源等重点领域，解决了多个靶材国产化“卡脖子”技术问题。该企业通过加强自主研发创新，实现大尺寸钼靶、钼铌及钼钛等钼合金靶、银合金靶、ITO靶材等靶材料的技术突破，其钼靶材产品广泛应用于京东方、TCL华星、天马微电子、维信诺、LGD等国内外知名企业生产线。该企业还成功打破国外垄断，首次实现了银合金靶材的国产化替代。
在电子气体领域，昊华气体下属的黎明大成氟化工生产的电子级三氟化氮、四氟化碳等含氟电子特气国内市场占有率达到30%；湄格科技作为生产高纯氟甲烷的厂家，其产品90%以上出口海外。
硅基材料是集成电路最基础和最重要的功能材料。根据规划，围绕相关产业，我市将重点发力半导体衬底、封测和传感器研制、半导体装备及零配件等领域，加快推进周山新材料产业园等项目建设，奋力打造中西部地区重要的半导体材料产业基地。(洛报融媒·洛阳网记者 陈曦 通讯员 白宁)
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